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介紹了一種基于數控雕刻機的簡捷微流控芯片制作方法。結合數控雕刻機加工模式中平行粗加工和等高線細加工的優點,設計并提出了一種不對稱路徑加工方法,有效避免了微結構在加工過程中出現斷裂、扭曲及其附近大量殘渣堆積等現象。相對于傳統基于微電子機械系統(MEMS) 工藝的微流控芯片加工過程(涂膠、曝光、顯影等工藝) ,該方法簡捷易行,整個加工過程僅需3 ho 實驗結果表明芯片通暢性與密封性良好,滿足實驗妥求。這種制作方法可以極大減少微流控芯片的加工時間和成本,為實驗室微流控芯片的結構設計和前期原理驗證提供了一種簡捷有效的途徑。
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